超高真空气体渗透实验系统装置实物如图所示，主要功能是测试316L、高温合金Incoloy 800H和2.25Cr-1Mo片状样品和管状样品的气体渗透特性。该装置整体氦漏率<5×10-10Pa.m3/s；主要检测设备为高精度四级质谱仪，分析灵敏度5ppb；质量分辨率0.8 amu；质谱仪定量标定漏孔为全金属密封VCR漏孔；主要真空泵为涡轮分子泵；氘压测量采用绝压传感器。样品室上游和下游真空度分别达到1×10-7和1×10-6Pa量级，上游氘气压力范围1~300kPa，实验温度范围450~600℃。采用氦质谱检漏仪对样品上下游进行检漏，漏率达到5×10-10Pa.m3/s量级即满足渗透实验要求，然后将样品室安装到渗透系统上对上下游抽真空。当样品上下游真空度达到1×10-5Pa时，开始对样品进行升温，升温速率为2.5℃/min并分别在150℃和渗透温度保温2h以上，温度稳定后上游通入设定压强的高纯D2气，下游为超高真空条件，在选定的实验温度条件下，由高精度四级质谱仪测定样品下游渗透的D2浓度信号4amu，通过标定得到的氘漏率灵敏度系数得到氘的渗透速率。