超高真空碱金属充装系统

基于提升原子陀螺、原子磁力仪和原子钟等量子仪表关键性能的研究需求，通过优化真空系统设计、提高原子气室的洁净度和改进气体和碱金属充装工艺，设计并建造一套碱金属充装超高真空系统，以满足在超高真空下进行原子气室进行碱金属和多路气体 充装工艺的研究，从而服务于高性能微小型、集成化原子气室的技术攻关和相关产品研发。真空系统具备原子气室增透膜、反射膜、去屏蔽膜等镀膜功能。超高真空系统还配有制氧机、制氢机、原子气室外壳、碱金属原子、检漏仪等其他配件设备。

参数：

1、超高真空玻璃气室限真空度10-5~10-7pa

2、超高真空玻璃气室氦漏率: 5E- 11Pam/s

3、整个系统氦漏率: 5E- 10Pam/s

4、充气、碱金属压力测量范围:10Pa~110kPa